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上海漢虹申請一種單晶爐碳化硅爐專用KF40電動蝶閥專利

發(fā)表于:2024-11-04 來源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

 國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,上海漢虹精密機(jī)械有限公司申請一項名為“一種單晶爐碳化硅爐專用的KF40電動蝶閥”的專利,公開號 CN 118881744 A,申請日期為2024年6月。

專利摘要顯示,本發(fā)明提供一種單晶爐碳化硅爐專用的KF40電動蝶閥,包括蝶閥主體,蝶閥主體包括一閥體,閥體的頂部固定有閥座,閥座的上表面固定一連接板,閥座通過連接板與光纖支架連接,閥體通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動,步進(jìn)電機(jī)連接一減速機(jī),步進(jìn)電機(jī)與減速機(jī)固定在光纖支架的頂端;閥體的內(nèi)部設(shè)有閥桿,閥體通過閥桿帶動閥芯旋轉(zhuǎn)來實現(xiàn)蝶閥的啟閉,閥體完全關(guān)閉時,通過將第一密封圈壓實在密封面上實現(xiàn)密封,密封面呈圓弧形,閥桿的底端套設(shè)有第一軸套,閥芯的上端部套設(shè)有第二軸套,閥桿與閥體之間通過第二密封圈實現(xiàn)密封。由于蝶閥結(jié)構(gòu)的特殊性,閥芯在啟閉過程中密封圈容易與密封面產(chǎn)生較大摩擦,因此調(diào)整密封面為圓弧面,且調(diào)整了閥桿的偏心距。

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